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真空/熱處理設(shè)備
稀有金屬材料設(shè)備
半導(dǎo)體工藝設(shè)備
晶體生長工藝設(shè)備
加熱體系列
其他設(shè)備及配件

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稀有金屬材料設(shè)備

產(chǎn)品名稱：快速熱處理設(shè)備
用途：用于半導(dǎo)體材料、LED器件快速熱處理工藝（退火、合金等）。
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詳細(xì)介紹

◆主要技術(shù)指標(biāo)◆
高溫恒溫區(qū)：150mm~350mm；
溫度均勻性：1100℃±1℃；
壓力范圍：5.0×10-3Pa~常壓
工藝石英管規(guī)格：Φ80mm~Φ260mm；
石英管內(nèi)可通H2、Ar等氣體
溫度、恒溫區(qū)、工藝管規(guī)格等均可根據(jù)客戶要求定做。

上一個產(chǎn)品：脫氧爐/封管爐下一個產(chǎn)品：兩管氣氛爐

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